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硅烷

硅烷在半導(dǎo)體工業(yè)中主要用于制作高純多晶硅、通過氣相淀積制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長(zhǎng)原料、以及離子注入源和激光介質(zhì)等，還可用于制作太陽(yáng)能電池、光導(dǎo)纖維和光電傳感器等。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)?？捎糜谥圃旄呒兌榷嗑Ч?、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、碳化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物等。因?yàn)樗呒兌群湍軐?shí)現(xiàn)精細(xì)控制,已成為許多其他硅源無(wú)

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硅烷在半導(dǎo)體工業(yè)中主要用于制作高純多晶硅、通過氣相淀積制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長(zhǎng)原料、以及離子注入源和激光介質(zhì)等，還可用于制作太陽(yáng)能電池、光導(dǎo)纖維和光電傳感器等。

硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)?？捎糜谥圃旄呒兌榷嗑Ч琛尉Ч?、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、碳化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物等。因?yàn)樗呒兌群湍軐?shí)現(xiàn)精細(xì)控制,已成為許多其他硅源無(wú)法取代的重要特種氣體。

硅烷氣是太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過程中不可或缺的材料，因?yàn)樗菍⒐璺肿痈街陔姵乇砻娴淖钣行Х绞健Ｔ诟哂?00℃的環(huán)境下，硅烷氣分解成氣態(tài)硅和氫氣。氫氣燃燒后，剩下的就是純硅了。此外，硅烷氣可以說是無(wú)處不在。除了光伏產(chǎn)業(yè)外，還有很多制造工廠需要用到硅烷氣，如平板顯示器、半導(dǎo)體、甚至鍍膜玻璃生產(chǎn)廠。


硅烷 硅烷氣體 5N高純硅烷氣

英文名稱：Sulfane

CAS號(hào)：7803-62-5

分子式：SiH4

分子量：32.12

規(guī)格：99.999%

包裝：44L、47L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要，分裝到8L的氣瓶中


熔點(diǎn)(101.325kPa)： -185.0℃

沸點(diǎn)(101.325kPa)： -111.5℃

液體密度(-185℃)： 711kg/m3

氣體密度(0℃，100kPa)： 1.42kg/m3

相對(duì)密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：1.114

比容(21.1℃，101.325kPa)： 0.7518m/kg

氣液容積比(15℃，100kPa)：412L/L

臨界溫度： -3.4℃

臨界壓力：4843kPa


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